硅晶圆在光学领域的应用已突破传统芯片基底角色,成为集成光子学、红外感知、量子光学的核心平台。其核心优势在于 CMOS工艺兼容性、高折射率(~3.5)、宽红外透射性(1.2-8μm),可批量制造纳米级光学结构。
三大核心应用场景
1. 光通信革命:解决算力瓶颈
硅光子芯片
多波长激光阵列:英特尔在300mm晶圆上集成8波长DFB激光器(波长精度±0.1nm),用于CPO(共封装光学)模块,数据中心能耗降低50%。
高速调制器:台积电硅光方案实现1.6Tbps光互连(2024年量产),支持AI算力集群扩展。
晶圆级微透镜:苏纳光电通过光刻-刻蚀工艺在硅晶圆上批量生产微透镜阵列,全球光模块市占率超50%,耦合效率提升至92%。
2. 红外感知:穿透不可见世界
红外窗口片:利用硅在3-5μm中红外的透射性,用于:
车载摄像头:雾天/夜间成像(大陆集团激光雷达锗硅复合窗口)
安防热像仪:大立科技热成像模组测温精度±0.5℃
生物医疗传感:晶圆级硅微流控芯片集成红外探测器,实现血液葡萄糖无创检测(精度>95%)。
3. 前沿光学系统:重构技术范式
AR/VR光学镜片:6英寸碳化硅(SiC)晶圆直接切片成镜片(透光率>99.8%),Meta Quest Pro采用该技术。
钽酸锂(LT)异质集成:中科院开发硅基LT晶圆,光学损耗比铌酸锂低10倍,用于激光雷达调频连续波(FMCW)光源。
量子光学芯片:硅基光量子芯片实现128量子比特纠缠(日本NTT 2023实验),光频梳生成效率提升5倍。